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关于硅片缺角原因分析
2017-12-14 来源: 作者:佚名 阅读:次 【打印此页】
硅片缺角原因大致可分为以下几点:
1.加工时缺角:晶棒在加工和拉运时,由于人员疏忽,没有按照作业指导书规定操作,造成缺角,设备异常,
造成缺角。
2.切割时缺角:晶棒上导向条没有粘接到位,切割中,没有导向条的位置钢线容易打滑,随着工作台下降,
线速加快,钢线和晶棒定位的瞬间,会造成硅片角上缺角。
3.运输中缺角:再切片岗位下棒时,作业员需要用拉钩把硅棒拉倒下棒轨道里,稍不注意拉钩就会碰到硅片,
造成缺角。
4.插片时缺角:插片人员在操作时,插片速度过快,硅片的角会碰到插片工作台上,造成缺角。
5.分选时缺角:人工在倒片盒时,因工作台上有碎硅渣,片子会与碎硅渣产生冲撞力,造成缺角。
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