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怎样区分硅片的等级分类及标准？

2018-5-25    来源：    作者：佚名  阅读：次  【打印此页】

硅片等级大致可分为优等品，合格品，不合格品。但每家硅片企业的标准都不一样， 以下标准针对的硅片厚度为220μm。（仅供参考)
1、优等品：硅片表面光滑洁净；TV：220±20μm；

几何尺寸：
 边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;
 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm;
 边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。
 同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm。
 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3。
2、合格品: 一级品：表面有少许污渍、轻微线痕;220±20μm ≤TV≤220±30μm。
 几何尺寸：
 边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;
 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm;
 边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。
 同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。
 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.5,cheap radii shoes。
 二级品：
 表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边;
 220±30μm ≤TV≤220±40μm;
 凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm;
 崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度≤1mm，深度≤0.5mm
 几何尺寸：
 边长125±0.52mm;对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm;
 边长103±0.52mm、对角135±0.52mm;
 边长150±0.52mm、156±0.52mm、对角203±0.52mm、200±0.52mm。
 同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。
 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.8。
 三级品：
 表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象;
 220±40μm ≤TV≤220±60μm;
 硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。
3、不合格品
 严重线痕、厚薄片：TV>220±60μm。
 崩边片：有缺损但可以改Φ103的硅片。
 气孔片：硅片中间有穿孔。
 外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。
 倒角片(同心度)：任意两个弧的弦长之差>1.5mm。
 菱形片(垂直度)：任意两边的夹角>90°±0.8。
 凹痕片：硅片两面凹痕之和>30μm。
 脏片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。

尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。

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