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硅片切割中切斜问题分析
2017-7-9 来源： 作者：佚名 阅读：次 【打印此页】
硅片切割中切斜问题分析
钢线在高速切割硅块过程中，需要保持钢线与硅块垂直的位置，一旦钢线出现倾斜，就会直接导致切割的硅片出现切斜问题。
三、硅片切斜带来的危害
在硅片切割过程中，钢线在水平方向的受力为牵引力、摩擦力，如果出现切斜的现象，必然引起钢线与硅块的水平位置发生相对的移动。这时钢线在水平方向的受力又增加了一个剪切力，加大了钢线断线的风险。
硅片切割中的切斜部分硅料，大大降低硅片合格率，降低生产效率，增加了硅片加工的成本。
四、从不同的方面分析硅片切斜问题
1、切割中钢线张力过小
在正常切割硅片过程中，应该保持钢线一定的张力。如：直径为0.13mm的钢线张力设定22-23N;直径为0.12mm的钢线张力设定20-21N。只有钢线保持一定的张力才能在高速转动下，携带砂浆将硅块进行切割。
如果出现张力过小,就会使得钢线的牵引力减小，而受到的摩擦力过大。就会引起钢线水平的抖动，引起切斜。一般常见的有以下两种形式：
（1）张力臂的气缸漏气，导致钢线的张力过小。
（2）钢线在导轮上缠绕时，前后分布不均匀。导致绕线的部分的导轮相向发生移动，进而引起导轮上钢线张力减小，变得松弛。
解决方案:使用张力仪测量钢线张力，及时更换气缸；在编织线网时，使得钢线均匀分布在导轮上。
2、导轮对硅片切斜的影响
导轮在硅片切割过程中，起着重要的作用。导轮的槽距影响切割硅片的厚度，线槽更是约束钢线的切割方向。导轮方面引起硅片切斜的原因：
（1）导轮开的线槽过浅，硅片切割中，钢线容易跳出线槽。
（2）导轮开槽不规范或搬运过程中，对导轮表面进行磕碰。引起导轮线槽不相互平行。
（3）硅片在切割中，有异物进入导轮并引起钢线跳线。
解决方案：规范开槽操作，及时更换铣刀；导轮搬运注意保护导轮外表；保持机床卫生，减少异物进入。
3、砂浆对硅片切斜的影响
砂浆有悬浮液和碳化硅按照1：1的配比组成，在切割硅片中有着重要的作用。
（1）悬浮液的携砂能力较差
在配置砂浆时，悬浮液的密度为1.125kg/l（室温25℃）如果悬浮液的密度小于1.125kg/l或配置砂浆时的比例过大，会导致悬浮液的携砂能力下降。使得钢线受到的阻力增加，容易产生切斜。
（2）碳化硅切割能力不足
切割前砂浆的密度应该保持在1.620-1.630kg/l，如果密度过低，表面砂浆中碳化硅的比例偏少；使用菱角不锋利的回收碳化硅进行切割。都会引起切割能力不足，易引起切斜现象。
（3）砂浆温度的影响
在切割中，硅块、钢线摩擦产生的热会释放出来，引起砂浆温度的上升。正常砂浆温度控制在23-25℃，如果温度过高，引起砂浆的密度降低，使得切割能力下降。
（4）砂浆流量的影响
砂浆流量的控制很重要，过大或过小都会对切割产生影响。砂浆流量过大引起钢线的抖动；流量过小，降低硅片的切割能力。一般砂浆流量控制在130-150kg/min。
解决方案：正确使用悬浮液和碳化硅的配比，并在使用砂浆过程中注意砂浆温度和流量的控制。
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